代7n制程工艺采用了非常先进的曝光修正算法,大大的提高了良品率。但是,你们看到了没,拜仁的整个微观切面,这图像边界有一点点不清晰吗?”
“难不成,他们还能做到百分之百的修正?”立即就有人置疑道。
“我不知道,原始的设计是怎么样的我们看不到,也不清楚。”林志豪接着说道:“我们能看到的就只有这个图,别的我不敢保证,仅仅从这个图来看,边界几乎可以认为是百分之百。”
林志豪这么一说,原本就非常不淡定的台积电工程师们就更加的不淡定了:几乎百分之百,啥意思?
任何的机器都不可避免的会有系统误差和测量误差,几乎百分之百,那实际就是百分之百!
“这也是我之前我为什么说拜仁有能力利用duv制造5n的关键之所在。”林志豪接着说道:“不能以常理衡量他们啊!”
林志豪说这话的时候,心里也是十分不解,也在感慨着:他们就究竟是怎么做到的啊!就凭那个系统内多偏差相互作用修正的全新工艺?
林志豪想不明白:
按道理,台积电当初利用深紫外duv量产7n时的曝光补偿和修正算法已经极为先进了,但也完全没法做到拜仁这样几乎完美的修正效果!
这简直就是一件不可思议的事情,难道他们这个所谓的全新工艺还能让光的衍射现象消失不成?
即便那样也不对啊,热膨胀也还是会造成图像显影误差。
林志豪昨天想了一夜,也没想出来个所以然来。
至于用误差消弭误差,最终达到没有误差的效果,林志豪不是没想过,但这也根本不可能啊!
这对控制系统的精密性要求太高了,阿斯麦现在最先进的光刻机由某国的控制系统都做不到,就更不用说大陆资产的落后光刻机了。
“他们究竟是怎么做到的?!”林志豪摇了摇头脑袋,再一次的发出这样的感慨。